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第六章 时代造成的技术落差

如果说实验室制备是基础科学,那ว么材料é应用研究则是最前沿工程,代表着国家最高的科技成就。

这个实用化过程简单的说,就是研制出可以批量生产,价格相对低廉的专用设备,使之尽可能复制当初ม的实验条件,以之建立专门工厂。思考如何用经过培训的工人来代替专门的研究人员,进行工业大规模生产的研究机构。

真不愧为国宾馆!

郭逸铭他们入住的客房在三楼内侧,不受外面车辆行驶噪音干扰。透过窗户,可以看到外面灯光映耀下,绿树如茵。左ุ、右、后三侧各有几个由水泥道路区隔出的独立区间,一栋栋鹅黄色的小楼ä掩映在绿树之ใ间,雅致幽静。

美国:二周一万五

滴答滴答滴答文学

见微知著,这家美国公司派出来的一个总经理助手,都有这样深厚的技术造诣,想来他们所说的专利,也确有其独到之处,大家对西部计算机公司的技术实力更加具有期待。三位被拉来提供技术参考的老科学家,也充满了兴趣。

“郭先生,你说你们公司在半导体材料制备中,取得了几项技术突破,并申请了专利ำ,不知道能否向我们大略地说一说?”雷为民开门见山,首先打开话题。

“当然没问题!麻烦能给我一张纸,一支笔吗?”

郭逸铭满口答应,从雷为民所长手中接过一本印着中ณ科院材料应用研究所抬头的便签本,一支钢笔,熟练地在纸上画了一张设备草图。设备很高,整体封闭,看起来很像是一个锅炉,但在内胆部分,单独画出了一个石英坩埚。

“这是单晶炉吧?”

他在画的时候,其他人为了保持仪态,坐在原位没有动,只是远远地看见了草图的大概轮廓。雷为民所长经常主ว持实际工作,对于单晶炉并不陌生,看到เ锅炉内部的提升臂,一口就说出来。

“对,这是单晶炉!”

郭逸铭起身,将草图递给研究所两位领导,他们看了一眼,便交到เ董美堂他们手中。三位老科学家一眼就看出,这是一个标准的单晶炉草图,和他们在外国技术书刊â中所见并无区别ี。现实中,国内单晶硅制备就是依照这种单晶炉制造。

他们将草图又递还给郭逸铭,静静等他做出说明。

“我们的第一项专利,就是单晶炉热屏。这是一种给单晶炉熔๶炼区配备一个ฐ固定热屏障的部ຖ件,以实现……”郭逸铭在单晶炉熔炼区上方แ,画了一个配件,再转递给三位,但话没说完,就被对方的惊呼给打断。

“热屏障!”

郭逸铭的话还没说完,对面静坐的三位老科学家已经震惊无比,一齐叫起来。他们飞快拿过草图,只看了一眼,心中ณ犹如惊涛骇浪。董美堂扭转头,从身旁้的搭档眼中ณ,同样看到เ了震撼、恍然、懊恼等诸多神情。

长期从事应用研究的他们,只是听了一个名词,看了一下简图,便立即明白到这项技术的价值。这无须实际验证,只要用脑子想一想,仅凭逻辑都能明白,它蕴含着多么巨大的价值!

热屏障!

这是一个多么简单的设想!

是的,它绝对不是什么高科技,蕴含的技术含量还不如单晶炉外壳,可它是一个极其绝妙的点子。仅仅加了一个热屏障,就解决了他们费时费力,在单晶硅制备中ณ也很难解决的大部ຖ分难题๤。

他们在欣喜之ใ余,也都极感懊恼。

这样一个并非技术突破,而只是一个灵光一现的想法,他们怎么会没有想到呢,居然被美国一家公司给抢先发明了出来,并申请了专利ำ!对他们而言,这可是严重失职!

郭逸铭停下说话,安静地等待他们平静下来。

早ຉ期的单晶炉都是敞口式设计,底部熔炼区产生的热气弥漫于单晶炉,热气蒸腾,硅晶棒处于持续加热状态,结晶困难,因而加大了制备难度。同时表层晶体反复融化,也造成了硅晶棒成品率降低,外圈坏点增多。

历史上,的确是美国率先发明了热屏,在熔炼区上方增加了一个屏罩,取得了立竿见影的效果。热量被束缚在熔炼区,减小了对提升的硅晶棒造成的影响,硅晶元的制取成功率立即得到了数量级提升。

而我国由于受到国际封锁,得不到เ最新า技术,也无法进口先进设备。所从事的半导体材料制备研究,几乎都是源自于对西方技术书籍的参考,照猫画ฑ虎,对其进行复原。在这些书籍中ณ,只有基本的原理草图,对于此后的改进只字不提,当然是进步缓慢。

事实上,直到九十年代,我们在进口日本的单晶炉的时候,日຅本人还是将没有热屏的单晶炉出口到中国,试图以此来误导国内半导体材料制备,继续在错误的方向上前行。

郭逸铭作为ฦ一名材料系学生,又在材料应用研究所实际工ื作十多年,这样的缺憾ย听了不知多少。学校导师、实验室前辈,都曾对他们谆谆教导,让他们记住前人在这上面走过的弯路,吃过的亏,明白中ณ国科学进步,付出了多少惨重的代价。

因此在事业起步的第一步,他便毫不犹豫选择申请了这项专利。

技术简单,成本低廉,但效果极其突出,根本和高科技毫不